倡导半导体洁净链概念，Swagelok举行中国半导体客户研讨会

除了追求更小的终端尺寸，半导体业界向着更精细工艺迈进的动力也许就只剩下成本竞争力了。随着65nm、45nm工艺的逐渐推广，以Intel为首的半导体供应商们可以在单位晶圆面积上制造出更多的芯片。不过，在实现更低成本的征途中，还不应忘记良率的重要性。事实上，如何尽可能的降低由于良率的损失而造成的成本提升已成为半导体厂商提升竞争力的关键。影响良率的因素有很多，制程、设备与产品组合的复杂性、操作员或工程师的经验、设备的新旧、制程的周期时间、制程导入的时间、在制品的数量等等。当然，还包括设计、生产到封装测试的全过程中严格洁净的环境。 “从设计、生产到封装测试，半导体生产的全过程都需要一个严格洁净的环境。”Swagelok(世伟洛克)半导体服务公司产业和技术经理John Baxter不久前在上海表示，“日益严格的超高纯(UHP)生产环境需要一系列的高纯度和超高纯度流体系统部件，Swagelok致力于为半导体客户提供这样的解决方案。” Baxter此行是出席Swagelok在面向半导体产业客户举办的研讨会。据称，过去几年来，这家公司在大中华区半导体行业的业务成长可观。然而大环境近一年来的不景气也对这部分业务造成了一定的影响。此次活动就是在市场脚步趋缓时与客户进行当面交流，深入了解客户需求。 Swagelok此次活动选择在上海、大连、西安三地举行。不难发现这三地也是中国代工厂聚集的代表性城市，特别是考虑到SMIC、TSMC在上海以及Intel在大连的投资。作为全球流体系统解决方案的主要开发商和提供商，Swagelok为全球科研、仪表、制药、石油和天然气、电力、石化、替代燃料和半导体行业提供洁净链系统解决方案。Baxter表示，Swagelok的流体系统零部件产品线，包括膈膜阀、VCR金属垫片密封和Micro-Fit焊接接头、气压调压阀、压力表、传感器、过滤器，模块化气体系统零部件及卡套管、塑料阀、塑料接头和塑料卡套管以及轨道焊接系统等。 生产超洁净系统阀和接头不仅需要电抛光早期设计使其看起来闪亮平滑，还需要专门研发出新设计、材料和方法来满足烟严苛的清洁规范要求。Baxter介绍了Swagelok的洁净链概念。这个链条包括设计、材料选择、生产、洁净、检验、包装和安装七个环节。“这些环节紧密相连，忽视任何一个环节都会令整个洁净链断裂，对最终的产品性能造成影响。”以设计为例，一个重要的宗旨就是，零部件可被简单迅速地清洗和净化，应用中很少生成颗粒，几乎没有造成截留。此外，在材料选择上，该公司也对用于生产清洁、无泄漏零部件的原材料仔细选择，重点放在化学成分、材料特性、夹杂物以及其他特征材料上。 除了各种流体系统连接部件外，Baxter还介绍了该公司的CR-288浓度监测器。据称，这是半导体行业首个提供流体化学浓度在线分析的小型装置。可安装在生产液流或化学品传送与混合点。Baxter表示，通过监测半导体生产中的液流，CR-288可帮助行业减少化学品消耗、改进过程控制和可见性、探测过程问题、减少晶圆报废并提高生产力。 “洁净链代表了Swagelok对半导体客户的质量承诺。”Baxter强调，“它使客户相信所有用于UHP系统的阀门和接头都满足最高洁净度标准的要求。”