Semicon-China今年的展馆面积缩水严重,但是仍有供应商对半导体产业“痴心不改”,世伟洛克就是其中一例。作为旗下三大分支之一,几年前刚刚成立的世伟洛克半导体服务公司(SSSC)致力于为半导体制造行业提供资源、材料和设备。很显然,在许多同行纷纷该公司希望在经济不景气时企业在提高生产效率和进行流程优化时的投资能够为其带来业务增长的机会——本次Semicon上,享誉业内的三款“明星产品”被推上了世伟洛克的展台。
从圣克拉拉远道而来的世伟洛克半导体服务公司市场经理AI Bousetta介绍了这几款产品。分别是:采用特富龙PTFE(或PFA)材质,并拥有优异柔性、提供优良抗扭结能力的高质量Coreflex软管;采用易用工业触摸屏幕操作、可保证轨道焊接的精度、易于控制并获得中国3C认证的M200轨道焊接焊机;以及能在半导体设备制造过程中提供实时、高精度的工艺流体与温度测量的CR-288浓度监测器。
据称,在半导体制造过程中,Coreflex软管可用于需要将流体加热或者加冷并保证恒温恒压的场合,从而保持流体的物理特性时间上的一致性。Coreflex软管还能够用于工艺反应室,并且非常牢固。“世伟洛克拥有40多年的软管专业经验,这赋予了我们提供具有优质软管的能力。”Bousetta说。
为了满足半导体市场对于便携式焊接设备的需求,世伟洛克推出了能够在系统制作过程中根据需要焊接不同卡套管和部件组合的M200轨道焊接机。而为了能够顺利的进入中国市场,世伟洛克也已经在2008年9月获得了中国政府要求的3C安全认证。据称,这种采用纯钨气体电弧焊技术过去主要用于航空航天领域,能够为从3mm至104mm的各种卡套管提供稳定、准确的焊接。而M200也提供了高清晰12.1英寸彩色工业触摸屏,并内置多种语言显示能力。“更重要的是,它还具有绝佳的抗压性和抗腐蚀性。”
要介绍的还有名为CR-228的浓度监测仪。在去年的中国半导体客户研讨会上,世伟洛克已经展出了此款半导体行业的首个提供流体化学浓度在线分析小型装置。Bousetta介绍说,该款监测仪满足了半导体制造对所使用的液体化学品更加精确监测和控制的需求。利用专门的软件,技术人员可针对半导体实验室或者蚀刻、晶圆清晰、光刻胶沉积与清除、CMP等制造工艺使用的化学品混合物对设备进行校准。从而改善工艺控制、提高工艺可见度、检查工艺问题,最终达到提高良率的目的。
除了上述三款“明星产品”,世伟洛克此行还带来众多领先业界的其他产品,包括原子层沉积阀、1-1/8"模块化气体系统元件、化学品传输元件、使用点元件、压力测量及控制元件及大宗气体传输元件等。
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