MEMS走向开放，标准化进程加快

伴随着半导体集成电路制造工艺的微细化发展，MEMS技术逐渐壮大起来。从某种意义上来说，MEMS可以看做是CMOS工艺的延伸。而在CMOS工艺早已标准化的今天，种类繁多的MEMS工艺会走向一统吗？ MEMS与COMS IC器件的最大差异在于，MEMS没有IC已经成熟的标准化工艺，目前大多数产线往往只能做到一个产品一种工艺，小批量、高成本，这已经远远不能满足逐渐爆发的MEMS市场需求，于是，MEMS工艺的标准化也成为业界争论的一个话题。 MEMS产品需求的多样化，决定了其工艺的多样化，因此难以用一个统一的标准来满足所有需求。从另一个角度来看，差异化对于厂商保有其专利与产权极其重要，也能使研发人员不受标准工艺限制开发创新的产品。然而，实现标准化的MEMS工艺可以使研发、代工、封装等工序利用已有成熟的先进技术，避免无谓的重复设计。 目前Globalfoundries主推的InvenSense Nasiri制造平台就是一个开放的工艺平台。Globalfoundries公司MEMS项目总监Rakesh Kumar博士指出，开放成熟MEMS制造平台的好处在于可以实现快速探索创新的设计理念，显著缩短上市时间。同时，对于提供批量生产的代工厂而言，即使是小批量量产，也可提供稳定可靠的产品。另一方面，对提供平台的无/轻晶圆公司(如InvenSense)来说，可以通过授权来获得额外的收入。第三方则可以通过NF协议来解决潜在的专利冲突。另外Kumar表示Globalfoundries也在努力建立可被不同客户复用的MEMS工艺模块。 无独有偶，另一家代工企业X-FAB在日前发布了首个MEMS三轴惯性传感器开发平台。同一个工艺可以生产单轴与双轴的加速计，而加速计和陀螺仪可采用同一个工艺整合在单芯片上，实现六自由度的惯性传感单元。该平台可以直接由代工厂量产，加快了产品导入市场的速度。 X-FAB MEMS产品线经理Iain Rutherford表示：“X-FAB开放性平台的制程开启MEMS产业的新时代。我们正在改写历史，把‘一个产品、一个工艺’的限制转换到开放性的平台，此方法给予任意客户使用世界级质量的工艺做多领域的应用开发，能让他们快速地实现目标。” 从MEMS生态系统整体看来，标准化仍是一个复杂的、充满挑战和争议性的话题。开放工艺平台的逐渐增加，还只是这一进程中的一小步。另一方面，MEMS的标准化也无需照搬CMOS的模式，而是逐渐地、分层级地实现标准化，以避免产品的千篇一律，这样才不会让行业重新陷入残酷的红海竞争。 本文为《国际电子商情》原创，版权所有，谢绝转载

相关阅读：
• X-FAB在MEMS的运营上投入超过5000万美金
• 本土MEMS厂商需厚积薄发，红海中闯出一条路
• 全球MEMS代工企业状况与排名：台积电营收剧增201%Hkhesmc