大基金一期逐渐退出的同时,二期也在持续跟进。fRkesmc
10月18日,至纯科技公告,为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标,提高产业资源整合能力,公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入核心战略投资者。fRkesmc
根据公告,本次交易前,至微科技注册资本为4.55亿元,依据增资前至微科技25亿元的估值,对应5.4945元/注册资本,本次远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业(有限合伙)、上海芯晟至远企业管理合伙企业(有限合伙)合计向至微科技增资4.2亿元,其中大基金二期和混改基金分别出资1820万元,持股比例为3.42%。fRkesmc
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△增资完成后至微科技股东信息(Source:至纯科技公告截图)fRkesmc
公开资料显示,至微科技是承载至纯科技重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体。自成立以来,至微科技完成了系列化产品的研发、制造和销售,累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台,成为国内湿法设备的主要供应商之一。fRkesmc
此前,至纯科技曾表示,公司28nm节点全部湿法工艺设备已认证完毕。14nm~7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。fRkesmc
责编:Clover.li