第十五届(2023年)传感器与MEMS产业化技术国际研讨会(暨成果展)，是国内MEMS领域最具影响力的国际会议之一，以“研产融合 创新应用”为宗旨，通过高峰论坛、专题研讨+展览展示的形式，以会带展，会商联动，为产业界和学术界搭建一座信息互换、探讨合作的交流平台。
会议将邀请国际知名专家以及业界顶尖企业、政府机构、高校、科研院所、MEMS行业主管单位、各地同行业协会(学会)和有关企事业单位、创投公司的重要嘉宾参会，就业内最前沿的产业化技术和中国MEMS行业现状及发展机遇共同探讨交流，寻求新的合作契机。4C5esmc
本届MEMS大会同期设置1500㎡展览区，展出范围含MEMS设计及软件、MEMS代工、MEMS应用、MEMS加工设备、分析检测仪器、微纳制造技术、医用传感器等。诚邀您参会！4C5esmc
组织机构4C5esmc
主办单位4C5esmc
中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 4C5esmc
中国电子学会传感与微系统技术分会4C5esmc
协办单位4C5esmc
北京赛微电子股份有限公司4C5esmc
承办单位4C5esmc
西部科学城重庆高新区管委会4C5esmc
上海熙儋宸旭半导体科技有限公司4C5esmc
上海龙媒商务咨询有限公司4C5esmc
会议安排4C5esmc
会议时间：2023年11月13日-15日（13日报到）4C5esmc
会议地点：重庆融创国际会议中心4C5esmc
会议形式：高峰论坛技术研讨+展览展示4C5esmc
11月14日(周二) 开幕式&高峰论坛4C5esmc
11月15日(周三) 专题论坛4C5esmc
1. MEMS与传感器产品技术应用论坛(暂定)4C5esmc
2. MEMS创新工艺与新型传感器发展论坛(暂定)4C5esmc
3. MEMS加工封装测试产业链及装备技术论坛(暂定)4C5esmc
✱注：最终议程以现场实际为准4C5esmc
展览范围4C5esmc
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| 传感器与MEMS制造设备 |
MEMS技术及应用，蚀刻，离子束激光处理器，微电路制造、MEMS设计及软件、MEMS器件如加速度计、陀螺仪、压力传感器、磁传感器等、加工材料、MEMS加工设备、MEMS制造、MEMS代工、MEMS先进封装、MEMS应用、纳米压印技术、纳米机械、微制程技术、分析与检测仪器、MEMS技术与医疗应用、显微镜、影像传感器、飞秒激光曝光设备、光电、应用软件、仪器仪表、智能家居、测试测量、MEMS规模化平台、MEMS技术集成应用、喷墨制与3D打印技术、终端应用等。 |
| 分析与检测 |
光学显微镜,SPM,AFM,LSI测试探测器，扫描电子显微镜、超精确度测量仪器，设计工具，模拟，表面微加工、电子显微镜(SEM,TEM),分子设计软件，分析和测量系统、压力平台，探针，电炉，检漏仪器、白光干涉仪，表面微加工、实验室粉体制备与检测仪器（激光粒度仪，颗粒计数器等） |
| 微纳制造技术 |
纳米研磨设备(干湿法研磨、卧式砂磨机、薄膜成形、珠式砂磨机、三棍研磨机），纳米微粒混合物，分散技术，薄膜制造技术，蚀刻，离子束激光处理器，电子束处理，填装充电处理，微电路制造,超精度表面加工技术，融合接合技术,下一代光刻技术，纳米压印技术，飞秒激光曝光设备，MEMS、喷墨机,NEMS，传感器，纳米电子,光电,射流,模型，WCM |
| 医用传感器 |
生物传感器、物理传感器、化学传感器、生物传感器、以及生物电极传感器。植入式传感器、暂时植入式传感器、体外传感器、用于外部设备传感器、可食用传感器。柔性传感器、植入传感器、可消化传感器和新型传感器、肿瘤纳米荧光传感器、可拉伸植入式应力应变传感器、可消化传感器、气敏传感器胶囊、可消化微型麦克风、可卷曲消化传感器、纳米呼吸传感器。 |
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上届演讲嘉宾4C5esmc
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上届会议论坛4C5esmc
MEMS技术研讨论坛4C5esmc
（1）MEMS技术发展趋势4C5esmc
（2）MEMS设计技术与案例分析4C5esmc
（3）MEMS制造工艺的研究与案例分析4C5esmc
（4）MEMS封装技术的研究与案例分析4C5esmc
（5）MEMS设计和工艺的标准化探讨4C5esmc
（6）MEMS器件可靠性研究4C5esmc
（7）创新理论和观念4C5esmc
（8）创新材料、结构和加工工艺4C5esmc
（9）创新器件和创新应用4C5esmc
（10）创新型设备和系统4C5esmc
（11）微纳制造现状与趋势4C5esmc
（12）智能微纳传感器4C5esmc
传感器与MEMS产业化论坛4C5esmc
（1）传感器与MEMS技术产业化应用及发展趋势4C5esmc
（2）中国传感器与MEMS产业化发展现状和机遇4C5esmc
（3）传感器与MEMS产业链4C5esmc
（4）传感器和MEMS从实验室到产业化过程中的技术讨论4C5esmc
（5）传感器和MEMS产业的行业分析4C5esmc
（6）用于MEMS产业化的先进的工艺设备4C5esmc
（7）MEMS在汽车电子中的应用4C5esmc
（8）MEMS行业未来发展趋势4C5esmc
往届回顾4C5esmc
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姜皖蓉 电话:15680880839 (微信同号)4C5esmc
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黄 岚 电话:18964516109(微信同号)4C5esmc
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责编：Jasmine
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