向右滑动:上一篇 向左滑动:下一篇 我知道了

日本研发木基光阻剂,可满足2纳米制程需求

日本两大纸业巨头之一的OjiHoldings正在向成为一家木制材料综合企业转型,其最新目标是开发一种采用木基生物质材料的正性光阻剂,目标是到2028年达成商业化。

据日媒报道,Oji Holdings在光阻剂生产上的技术路线,原则是从木材中提取可用于光阻剂的前体材料,然后将前体材料和特定溶剂混合聚合、并采用净化技术去除杂质之后,这样就得到了光阻剂的成品。对此,Oji Holdings宣称其木基光阻剂可满足2纳米先进制程需求,这代表的也是针对日本新创晶圆代工厂商Rapidus的商机而来。wr9esmc

事实上,传统的正性光阻剂通常需要添加有害的永久化学品PFAS来提高光敏感度。而Oji Holdings的木基光阻剂在EUV极紫外光下的降解速率,相较传统产品高出8倍,特性取消了了PFAS的使用需求,而且更为环保的同时也可提升先进制成图案化的质量。wr9esmc

此外,传统光阻剂多为石油基塑胶制品,木基光阻剂在生产原料上也可降低了温室气体的排放数量。Oji Holdings表示,其在木基光阻剂上的商业目标是到2030年之前每年达到100亿日元的销售金额。wr9esmc

责编:Elaine
文章来源及版权属于全球半导体观察,国际电子商情仅作转载分享,对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。如有疑问,请联系Elaine.lin@aspencore.com
全球半导体观察
专注于半导体晶圆代工、IC设计、IC封测、DRAM、NAND Flash、SSD、移动装置、PC相关零组件等产业,致力于提供半导体产业资讯、行情报价、市场趋势、产业数据、研究报告等。
  • 微信扫一扫,一键转发

  • 关注“国际电子商情” 微信公众号

最新快讯

可能感兴趣的话题