近日,据国家知识产权局官网消息,华为技术有限公司于11月15日公布了一项于光刻技术相关的专利,专利申请号为202110524685X...
业界周知 ,集成电路制造中,光刻覆盖了微纳图形的转移、加工和形成环节,决定着集成电路晶圆上电路的特征尺寸和芯片内晶体管的数量,是集成电路制造的关键技术之一。随着半导体工艺向7nm及以下节点的推进,极紫外(extreme ultraviolet,EUV)光刻成为首选的光刻技术。gybesmc
相关技术的EUV光刻机中采用强相干光源在进行光刻时,相干光经照明系统分割成的多个子光束具有固定的相位关系,当这些子光束投射在掩膜版上叠加时会形成固定的干涉图样,出现有明暗变化、光强不均匀的问题,因此,必须先进行去相干处理(或者采用避免相干影响),达到匀光效果,以保证光刻工艺的正常进行。gybesmc
据披露,该专利申请提供一种反射镜、光刻装置及其控制方法,涉及光学领域,能够解决相干光因形成固定的干涉图样而无法匀光的问题,在极紫外光的光刻装置基础上进行了优化,进而达到匀光的目的。gybesmc
该光刻装置包括相干光源1、反射镜2(也可以称为去相干镜)、照明系统3。其中,反射镜2可以进行旋转;例如,可以在光刻装置中设置旋转装置,反射镜2能够在旋转装置的带动下发生旋转,如下图所示。gybesmc
gybesmc
在该光刻装置中,相干光源1发出的光线经旋转的反射镜2的反射后,通过照明系统3分割为多个子光束并投射至掩膜版4上,以进行光刻。另外,在光刻装置中,上述照明系统3作为重要组成部分,其主要作用是提供高均匀性照明(匀光)、控制曝光剂量和实现离轴照明等,以提高光刻分辨率和增大焦深。述照明系统3的匀光功能可以是通过科勒照明结构实现。gybesmc
该照明系统3包括视场复眼镜31(field flyeye mirror,FFM)、光阑复眼镜 32(diaphragm flyeye mirror,PFM)、中继镜组33;其中,中继镜组33通常可以包括两个或者两个以上的中继镜。照明系统3通过视场复眼镜31将来自相干光源 1 的光束分割成多个子光束,每个子光束再经光阑复眼镜32进行照射方向和视场形状的调整,并通过中继镜组33进行视场大小和 / 或形状调整后,投射到掩膜版4的照明区域。 gybesmc
通过在相干光源1与照明系统3之间的光路上设置反射镜2,在此情况下,相干光源1发出的光线经旋转的反射镜2反射后相位不断发生变化,这样一来,在经反射镜2反射后的光线通过照明系统3分割为多个子光束并投射至掩膜版4上时,形成在掩膜版4的照明区域的干涉图样不断变化,从而使得照明视场在曝光时间内的累积光强均匀化,从而达到匀光的目的,进而也就解决了相关技术中因相干光形成固定的干涉图样而无法匀光的问题。gybesmc
微信扫一扫,一键转发
关注“国际电子商情” 微信公众号
中欧汽车贸易战第一枪。
该部门拥有200多名员工,预计关闭后将有岗位裁撤。
总市值最高接近230亿元,成为资本市场关注的“黑马”。
国际电子商情22日讯 全球领先的电子设计自动化(EDA)公司Cadence在当地时间周二(1月21日)在官网宣布,已经就收购嵌入式安全IP平台提供商Secure-IC达成最终协议。
中国智能手机第四季度销量同比下降3.2%,为2024年唯一一个同比下滑的季度。
2024年以来,A股市场芯片行业掀起并购热潮。
国际电子商情讯 美东时间2025年1月20日,美国总统唐纳德·特朗普在其就职首日签署了一系列行政令,废除了前总统拜登政府的78项政策,其中包括对人工智能的监管政策。这一举动不仅引发了广泛的政治讨论,也对高科技行业和半导体产业产生了深远影响……
国际电子商情21日讯,日本罗姆半导体公司近期公布了一项重要人事变动决定。此次人事调整被罗姆视为加强管理体系、提升企业价值的关键举措……
矛头对准了电动汽车行业。
继赵明之后,荣耀的人事调整仍在持续。
剥离ODM业务资产,聚焦半导体业务,是闻泰科技当前的重要战略选择。
2024年,消费品以旧换新带动相关产品销售额超过1.3万亿元。
根据TrendForce集邦咨询最新研究报告指出,NANDFlash产业2025年持续面临需求疲弱、供给过剩的双重压力。
据TrendForce集邦咨询调查,1月21日嘉义地区芮氏规模6.4地震对邻近的晶圆代工厂、面板厂影响情况,TSMC(台积电)及
从拉各斯到内罗毕,从开罗到约翰内斯堡,线下零售渠道依然是非洲智能手机市场的中坚力量,在绝大多数地区贡献了超
荷兰特文特大学科学家开发出一种新工艺,能在室温下制造出晶体结构高度有序的半导体材料。
TrendForce集邦咨询公布了1月下旬面板报价,2025年1月下旬,电视面板价格上涨;显示器、笔记本面板价格持稳。
国家大基金队伍之一大基金三期再次出手,巨资布局人工智能(AI)。
根据TrendForce集邦咨询调查1月21日嘉义地区芮氏规模6.4地震对邻近的晶圆代工厂、面板厂影响情况,TSMC(台积电
根据Trend根据TrendForce集邦咨询最新《2025红外线感测应用市场与品牌策略》报告,目前激光雷达(LiDAR)在车用市
1月14日,美国射频厂商MACOM宣布拟投资3.45亿美元(折合人民币约25.28亿元),对其位于马萨诸塞州和北卡罗来纳州的
全球晶圆代工龙头台积电最新财报亮眼。
继美光和三星两大半导体厂商发生人事变动之后,近日,英特尔前首席架构师跳槽至高通的消息再次引发业界高度关注
根据TrendForce集邦咨询最新研究,美国2024年12月非农就业人数和制造业采购经理人指数(PMI)皆优于市场预期,美国
英飞凌位于曼谷南部沙没巴干府的新后道厂破土动工,该厂将扩大公司在亚洲的生产布局。
2024年,集成电路行业在变革与机遇中持续发展。面对全球经济的新常态、技术创新的加速以及市场需求的不断变化
雅加达,印尼- 2025年1月14日 - 全球技术解决方案供应商艾睿电子(Arrow Electronics)与印尼初创协会合作(STARFIN
无畏挑战 共创未来祥龙回首留胜景,金蛇起舞贺新程。在2025年元旦新年之际,深圳市凯新达科技有限公司(以下简
最新Wi-Fi HaLow片上系统(SoC)为物联网的性能、效率、安全性与多功能性设立新标准;
配套USB网关,轻松实现Wi-
随着与三安光电的碳化硅合资工厂落地重庆,2024年6月,意法半导体与重庆市彭水自治县同步启动了可持续发展合作
凯新达科技 自由之旅 征途同行
NVIDIA Jetson Orin™ Nano Super 开发者套件是一款尺寸小巧且性能强大的超级计算机,重新定义了小型边
德州仪器今日推出了全新的集成式汽车芯片,能够帮助各个价位车辆的驾乘人员,实现更安全、更具沉浸感的驾驶体验
广州飞虹半导体科技有限公司成立于广州越秀区,诚信经营20多年。主要研发、生产、经营:场效应管、三极管等半
近日,半导体存储品牌企业江波龙与工业和信息化部电子第五研究所(中国赛宝实验室,以下简称“电子五所”)在江波龙
深圳迈巨微电子有限公司深耕锂电池管理芯片领域,围绕电池健康和安全,电池电量计算二个核心技术能力,提供完善的
点击查看更多
北京科能广告有限公司深圳分公司 版权所有
分享到微信
分享到微博
分享到QQ空间
推荐使用浏览器内置分享
分享至朋友圈