凯美特气体子公司近日宣布，其光刻气体产品获得荷兰芯片制造设备制造商ASML子公司Cymer的合格供应商认证。这项日期为 2 月 2 日的公告发布的时间很有趣，最近有报道称美国、日本和荷兰之间达成协议，限制向中国出口芯片设备。ii4esmc
公告显示，凯美特气体旗下专业生产电子特种气体（ESG）的子公司于2月2日收到Cymer的认证函。信中称，凯美特ESG的光刻气体产品已通过Cymer的审核，已被列入名单。的合格供应商。ii4esmc
Cymer 是“ASML 集团内独立运营的企业”，是准分子激光光源的领先供应商。Cymer 发明并现在开发、制造和服务光刻技术所需的深紫外 (DUV) 光源，这是半导体制造中最重要的部分。其产品组合包括使用氟化氩 (ArF) 和氟化氪 (KrF) 气体产生 DUV 的准分子激光器。ii4esmc
凯美特表示，此次认证是Cymer对公司在光刻气体方面生产能力和产品质量的认可。这也是公司在先进生产、钢瓶内壁、气体分析技术等方面综合实力和竞争优势的体现。ii4esmc
据中国媒体爱集微报道，凯美特并不是第一家通过ASML验证的中国ESG厂商。在凯美特之前，广东华特气体自主研发的四种混合气体早在2017年就已通过ASML认证。四种气体分别为氩/氟/氖（Ar/F/Ne）、氪/氖（Kr/Ne）、Ar/Ne , 和氪/氟/氖。ii4esmc
不过，凯美特的认证恰逢美国与日本和荷兰讨论限制向中国出口芯片制造设备的有趣时间点。荷兰之所以成为这场三方会谈的一部分，正是因为它是 ASML 的大本营。尽管该交易尚未正式通过，但 ASML 表示“理解”在限制对中国的出口方面取得了进展。ii4esmc
然而，凯美特的认证或许表明 ASML 仍在向中国供应商采购。虽然这与芯片制造设备出口没有直接关系，但可能与美国限制中国半导体发展的目标相冲突。由于 ASML 至少在考虑因这笔交易而实施进一步的出口管制，其与中国供应商的关系在未来值得关注。ii4esmc
美国芯片禁令导致包括ESG在内的半导体材料国产化加速。数据显示，2017年至2021年，中国ESG市场规模从175亿元增长至342亿元，年均复合增长率达18%。预计到2026年，中国ESG市场规模将达到808亿元，2021-2026年复合年增长率为18.76%。ii4esmc
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